[国家标准] GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法

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标准编号：GB/T 41751-2022
中文名称：氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法
英文名称：Test method for radius of curvature of crystal plane in GaN single crystal substrate wafers
发布日期：2022-10-14
实施日期：2023-02-01
全文页数：10

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半径, 晶面

[国家标准] GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法

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