本文件描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法。
标准编号：GB/T 42274-2022
中文名称：氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法
英文名称：Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
引用标准：GB/T 14264; GB/T 22461; GB/T 25186; GB/T 32267
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
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GB_T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法.pdf
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