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[国家标准] GB/T 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法

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2 | 2023-11-3 19:38 | 显示全部楼层 |阅读模式

标准编号：GB/T 6616-2023
中文名称：半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法
英文名称：Test method for resistivity of semiconductor wafers and sheet resistance of semiconductor films—Noncontact eddy-current gauge
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
代替标准：GB/T 6616-2009
全文页数：11

标准全文下载：

GB_T 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试非接触涡流法.pdf (953.36 KB)

导体, 电阻

[国家标准] GB/T 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法

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