DB35/T 1248-2012 电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定气相色谱法

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标准号：DB35/T 1248-2012
中文名称：电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定气相色谱法
适用地区：福建省
行业分类：制造业
发布日期：2012-05-04
实施日期：2012-08-05
归口单位：福建省化学工业气体标准化技术委员会
起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）
发布单位：福建省质量技术监督局
标准简介：本标准规定了用气相色谱法测定电子工业用锗烷气体中杂质含量的方法。本标准适用于电子工业用锗烷气体中氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定。各杂质组分的检测限：氢：0.02 μmol/mol、氧（氩）：0.01 μmol/mol、氮：0.01μmol/mol、甲烷：0.005 μmol/mol、一氧化碳：0.02 μmol/mol、二氧化碳：0.005μmol/mol；各杂质组分检测线性范围：氢、氧（氩）、氮≤1000μmol/mol，甲烷、一氧化碳、二氧化碳≤2000μmol/mol。
文件格式：PDF
文件大小：275.71KB
文件页数：12

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