标准号：GB/T 36401-2018
实施状态：未实施
中文名称：表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
英文名称：Surface chemical analysis. X-ray photoelectron spectroscopy. Reporting of results of thin-film analysis
组织分类：GB
中标分类：G04
ICS分类：71.040.40
标准分类：CN
发布日期：2018-06-07
实施日期：2019-05-01
采用标准：ISO 13424-2013,IDT
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：厦门荷清教育咨询有限公司
范围：本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。
文件格式：PDF
文件大小：4.96MB
文件页数：43
（以上信息更新时间为：2019-03-19）
标准全文下载：
GB_T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告.pdf
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