标准号：GB/T 34177-2017
实施状态：现行
中文名称：光刻用石英玻璃晶圆
英文名称：Quartz glass wafer for lithography
组织分类：GB
中标分类：Q35
ICS分类：81.040.30
标准分类：CN
发布日期：2017-09-07
实施日期：2018-08-01
作废日期： - -
归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司
范围：本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆(以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二极管(LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。
文件格式：PDF
文件大小：669.29KB
文件页数：12
（以上信息更新时间为：2019-03-23）
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GB_T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆.pdf
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