标准号：GB/T 34085-2017
实施状态：现行
中文名称：电子工业用气体 三氟甲烷
英文名称：Gas for electronic industry. Trifluoromethane
组织分类：GB
中标分类：G86
ICS分类：71.100.20
标准分类：CN
发布日期：2017-07-31
实施日期：2017-11-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)
范围：本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。
文件格式：PDF
文件大小：533.31KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-03-23）
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GB_T 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷.pdf
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