标准号：GB/T 33763-2017
实施状态：现行
中文名称：蓝宝石单晶位错密度测量方法
英文名称：Test method for dislocation density of sapphire single crystal
组织分类：GB
中标分类：H25
ICS分类：77.040
标准分类：CN
发布日期：2017-05-31
实施日期：2017-12-01
作废日期： - -
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司
范围：本标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法。本标准适用于抛光加工后位错密度为0个/cm^2～100 000个/cm^2的蓝宝石单晶位错密度的测量，检测面为{0001},{1120},{1012}.{1010}面。
文件格式：PDF
文件大小：1.22MB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-03-23）
标准全文下载：
GB_T 33763-2017 蓝宝石单晶位错密度测量方法.pdf
(1.22 MB)
|
|
