标准号：GB/T 31353-2014
实施状态：现行
中文名称：蓝宝石衬底片弯曲度测试方法
英文名称：Test methods for bow of sapphire substrates
组织分类：GB
中标分类：H21
ICS分类：77.040.99
标准分类：CN
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司
范围：本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片）弯曲度的测试方法。本标准适用于直径50.8 mm~304.8 mm，厚度为不小于200 μm的蓝宝石衬底片弯曲度的测试。
文件格式：PDF
文件大小：482.17KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-04-01）
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GB_T 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法.pdf
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