JB_T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法.pdf

标准号：JB/T 2965-1992
实施状态：已作废
中文名称：溅射离子泵性能测试方法
组织分类：JB
中标分类：J78
标准分类：QT
发布日期：1992-12-25
实施日期：1993-07-01
作废日期：2017-05-12
代替标准：JB 2965-1981
归口单位：沈阳真空技术研究所
起草单位：沈阳真空技术研究所
范围：本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。本标准适用于抽速大于10的离子泵。
文件格式：PDF
文件大小：307.16KB
文件页数：6
（以上信息更新时间为：2019-05-07）

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