标准号:JB/T 2965-1992
实施状态:已作废
中文名称:溅射离子泵性能测试方法
组织分类:JB
中标分类:J78
标准分类:QT
发布日期:1992-12-25
实施日期:1993-07-01
作废日期:2017-05-12
代替标准:JB 2965-1981
归口单位:沈阳真空技术研究所
起草单位:沈阳真空技术研究所
范围:本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。本标准适用于抽速大于10的离子泵。
文件格式:PDF
文件大小:307.16KB
文件页数:6
(以上信息更新时间为:2019-05-07)
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