标准号：YS/T 28-1992
实施状态：已作废
中文名称：硅片包装
组织分类：YS
中标分类：H81
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：1992-03-09
实施日期：1996-01-01
作废日期：2015-10-01
被替代标准：YS/T 28-2015
归口单位：无
起草单位：上海第二冶炼厂
范围：本标准规定了硅片包装的分级、技术要求、操作、运输和贮存。本标准适用于硅抛光片和硅外延片的包装。
文件格式：PDF
文件大小：129.73KB
文件页数：4
（以上信息更新时间为：2019-05-07）
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YS_T 28-1992 硅片包装.pdf