YS/T 28-1992 硅片包装

[复制链接]
查看3945 | 回复4 | 2011-2-27 06:30 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:YS/T 28-1992
实施状态:已作废
中文名称:硅片包装
组织分类:YS
中标分类:H81
ICS分类:29.045
标准分类:QT
发布日期:1992-03-09
实施日期:1996-01-01
作废日期:2015-10-01
被替代标准:YS/T 28-2015
归口单位:
起草单位:上海第二冶炼厂
范围:本标准规定了硅片包装的分级、技术要求、操作、运输和贮存。本标准适用于硅抛光片和硅外延片的包装。
文件格式:PDF
文件大小:129.73KB
文件页数:4
(以上信息更新时间为:2019-05-07)

标准全文下载:
YS_T 28-1992 硅片包装.pdf (129.73 KB)

使用道具 举报