标准号：SJ/T 11184-1998
实施状态：现行
中文名称：显影设备通用规范
英文名称：General specification for developing equipment
组织分类：SJ
中标分类：L97
ICS分类：31.020
标准分类：QT
发布日期：1998-03-11
实施日期：1998-05-01
代替标准：SJ 3194-1989
归口单位：电子工业部标准化研究所
起草单位：西北机器厂
范围：本标准规定了显影设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等(以下简称“基片”)的显影设备。
文件格式：PDF
文件大小：1.46MB
文件页数：9
（以上信息更新时间为：2019-05-02）
标准全文下载：
点击下方链接查看更多内容。
SJ_T 11184-1998 显影设备通用规范.pdf