SJ/T 11184-1998 显影设备通用规范

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标准号:SJ/T 11184-1998
实施状态:现行
中文名称:显影设备通用规范
英文名称:General specification for developing equipment
组织分类:SJ
中标分类:L97
ICS分类:31.020
标准分类:QT
发布日期:1998-03-11
实施日期:1998-05-01
代替标准:SJ 3194-1989
归口单位:电子工业部标准化研究所
起草单位:西北机器厂
范围:本标准规定了显影设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等(以下简称“基片”)的显影设备。
文件格式:PDF
文件大小:1.46MB
文件页数:9
(以上信息更新时间为:2019-05-02)

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SJ_T 11184-1998 显影设备通用规范.pdf (1.46 MB)

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