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SJ/T 11184-1998 显影设备通用规范
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SJ/T 11184-1998 显影设备通用规范
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2010-12-5 11:28
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标准号:
SJ/T 11184-1998
实施状态:
现行
中文名称:
显影设备通用规范
英文名称:
General specification for developing equipment
组织分类:
SJ
中标分类:
L97
ICS分类:
31.020
标准分类:
QT
发布日期:
1998-03-11
实施日期:
1998-05-01
代替标准:
SJ 3194-1989
归口单位:
电子工业部标准化研究所
起草单位:
西北机器厂
范围:
本标准规定了显影设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等(以下简称“基片”)的显影设备。
文件格式:
PDF
文件大小:
1.46MB
文件页数:
9
(以上信息更新时间为:2019-05-02)
标准全文下载:
SJ_T 11184-1998 显影设备通用规范.pdf
(1.46 MB)
2010-12-5 11:28 上传
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通用
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显影
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