SJ 1781-1981 溅射离子泵试验方法.pdf

标准号：SJ 1781-1981
实施状态：现行
中文名称：溅射离子泵试验方法
组织分类：SJ
中标分类：L99
标准分类：QT
发布日期：1981-03-27
实施日期：1981-08-01
归口单位：无
起草单位：无
范围：本标准适用于抽气速率大于10L/s的溅射离子泵。
文件格式：PDF
文件大小：1.00MB
文件页数：6
（以上信息更新时间为：2019-05-13）

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