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SJ 1781-1981 溅射离子泵试验方法
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SJ 1781-1981 溅射离子泵试验方法
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9562
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4
|
2011-3-13 16:42
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阅读模式
标准号:
SJ 1781-1981
实施状态:
现行
中文名称:
溅射离子泵试验方法
组织分类:
SJ
中标分类:
L99
标准分类:
QT
发布日期:
1981-03-27
实施日期:
1981-08-01
归口单位:
无
起草单位:
无
范围:
本标准适用于抽气速率大于10L/s的溅射离子泵。
文件格式:
PDF
文件大小:
1.00MB
文件页数:
6
(以上信息更新时间为:2019-05-13)
标准全文下载:
SJ 1781-1981 溅射离子泵试验方法.pdf
(1 MB)
2011-3-13 16:42 上传
点击文件名下载附件
17811981
,
溅射离子泵
,
离子泵
,
试验
,
试验方法
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