标准号：SJ 21127-2016
实施状态：现行
中文名称：化学机械抛光机通用规范
英文名称：General specification for chemical mechanical polishing equipment
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
归口单位：工业和信息化部电子第四研究院
起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所
文件格式：PDF
文件大小：7.77MB
文件页数：19
（以上信息更新时间为：2020-03-13）
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SJ 21127-2016 化学机械抛光机通用规范.pdf