标准号：GB/T 16596-2019
实施状态：现行
中文名称：确定晶片坐标系规范
英文名称：Specification for establishing a wafer coordinate system
发布日期：2019-03-25
实施日期：2020-02-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管单位：国家标准化管理委员会
文件格式：PDF
文件大小：436.27KB
文件页数：5
（以上信息更新时间为：2020-06-09）
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GB_T 16596-2019 确定晶片坐标系规范.pdf