YS_T 1300-2019 氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定 气相色谱质谱联用法.pdf

标准号：YS/T 1300-2019
实施状态：现行
中文名称：氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定  气相色谱质谱联用法
英文名称：Determination of methyldichlorosilane，trimethylchlorosilane and methyltrichlorosilane in chlorosilanes-Gas chromatography-mass spectrometry method
发布日期：2019-08-02
实施日期：2020-01-01
引用标准：GB/T 4844;GB/T 4946
提出单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
标准简介：本标准规定了氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的气相色谱质谱联用的测定方法。本标准适用于氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的测定，3种含碳化合物的测定范围均为0.1 mg/kg～1000 mg/kg。
文件格式：PDF
文件大小：417.88KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2020-07-28）

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