[有色冶金] YS/T 1300-2019 氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定 气相色谱质谱联用法

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查看6024 | 回复2 | 2020-7-24 11:10:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:YS/T 1300-2019
实施状态:现行
中文名称:氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定  气相色谱质谱联用法
英文名称:Determination of methyldichlorosilane,trimethylchlorosilane and methyltrichlorosilane in chlorosilanes-Gas chromatography-mass spectrometry method
发布日期:2019-08-02
实施日期:2020-01-01
引用标准:GB/T 4844;GB/T 4946
提出单位:全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
标准简介:本标准规定了氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的气相色谱质谱联用的测定方法。本标准适用于氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的测定,3种含碳化合物的测定范围均为0.1 mg/kg~1000 mg/kg。
文件格式:PDF
文件大小:417.88KB
文件页数:8
(以上信息更新时间为:2020-07-28)

标准全文下载:
YS_T 1300-2019 氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定 气相色谱质谱联用法.pdf (417.88 KB)
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a1138238775 | 2020-7-29 15:51:02 | 显示全部楼层
比其它网站强多了
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zzh | 2020-7-31 06:15:33 | 显示全部楼层
感谢分享~
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