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SJ 21115-2016 单片旋转显影_清洗机通用规范.pdf

 

SJ 21115-2016 单片旋转显影/清洗机通用规范:
本规范规定了单片旋转显影/清洗机(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于单片旋转显影/清洗机的设计、生产、检验、验收和订购。

标准编号:SJ 21115-2016
标准中文名称:单片旋转显影/清洗机通用规范
标准英文名称:General specification for single wafer spinning developing&rinsing machine
标准实施状态:现行
发布日期:2016-01-19
实施日期:2016-03-01
标准文本格式:PDF
标准文本大小:12.76MB
标准文本页数:20
(以上信息更新时间为:2020-12-03)

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SJ 21115-2016 单片旋转显影/清洗机通用规范
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