SJ 21115-2016 单片旋转显影/清洗机通用规范

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5 | 2016-2-15 20:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

本规范规定了单片旋转显影/清洗机(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于单片旋转显影/清洗机的设计、生产、检验、验收和订购。

标准编号：SJ 21115-2016
标准中文名称：单片旋转显影/清洗机通用规范
标准英文名称：General specification for single wafer spinning developing&rinsing machine
标准实施状态：现行
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
标准文本格式：PDF
标准文本大小：12.76MB
标准文本页数：20
（以上信息更新时间为：2020-12-03）

标准全文下载：

SJ 21115-2016 单片旋转显影_清洗机通用规范.pdf (12.76 MB)

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SJ 21115-2016 单片旋转显影/清洗机通用规范

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