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SJ_T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范.pdf

 

SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范:
本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。本标准适用于半导体制造设备。

标准编号：SJ/T 11763-2020
中文名称：半导体制造设备人机界面规范
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
全文页数：17


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文档封面截图如下：
SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范
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