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SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范

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查看6385 | 回复5 | 2021-5-26 10:52 | 显示全部楼层 |阅读模式
本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。本标准适用于半导体制造设备。

标准编号：SJ/T 11763-2020
中文名称：半导体制造设备人机界面规范
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
全文页数：17


标准全文下载：
SJ_T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范.pdf (8.78 MB)
规范, 人机界面, 半导体, 制造设备, 制造

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