本规范适用于波长范围在250nm~2000nm内的椭偏仪的校准。
标准编号：JJF 1932-2021
中文名称：椭偏仪校准规范
英文名称：Calibration Specification for Ellipsometers
发布日期：2021-12-08
实施日期：2022-06-08
引用标准：JJF 1497;GJB/J 5463;SEMI E141-0705;Handbook of Ellipsometry;Ellipsometry and Polarized Light
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JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范.pdf