[国家计量技术规范] JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范

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3 | 2022-2-21 16:38 | 显示全部楼层 |阅读模式

本规范适用于波长范围在250nm~2000nm内的椭偏仪的校准。

标准编号：JJF 1932-2021
中文名称：椭偏仪校准规范
英文名称：Calibration Specification for Ellipsometers
发布日期：2021-12-08
实施日期：2022-06-08
引用标准：JJF 1497;GJB/J 5463;SEMI E141-0705;Handbook of Ellipsometry;Ellipsometry and Polarized Light
全文页数：23

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[国家计量技术规范] JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范

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