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XB_T 515-2020 钪铝合金靶材.pdf
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XB_T 515-2020 钪铝合金靶材.pdf
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上传时间: 2023-07-14
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XB/T 515-2020 钪铝合金靶材:
本标准规定了钪铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则与标志、包装、运输、贮存及质量证明书。本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。
标准编号:XB/T 515-2020
中文名称:钪铝合金靶材
发布日期:2020-12-09
实施日期:2021-04-01
全文页数:7
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