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XB_T 515-2020 钪铝合金靶材.pdf

 

XB/T 515-2020 钪铝合金靶材:
本标准规定了钪铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则与标志、包装、运输、贮存及质量证明书。本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材，主要用于半导体及光电等领域。

标准编号：XB/T 515-2020
中文名称：钪铝合金靶材
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
全文页数：7


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文档封面截图如下：
XB/T 515-2020 钪铝合金靶材
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