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XB/T 515-2020 钪铝合金靶材
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XB/T 515-2020 钪铝合金靶材
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2023-7-14 09:03
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本标准规定了钪铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则与标志、包装、运输、贮存及质量证明书。本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。
标准编号:XB/T 515-2020
中文名称:钪铝合金靶材
发布日期:2020-12-09
实施日期:2021-04-01
全文页数:7
标准全文下载:
XB_T 515-2020 钪铝合金靶材.pdf
(452.64 KB)
2023-7-14 09:03 上传
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文档封面截图如下:
合金
,
靶材
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