XB/T 515-2020 钪铝合金靶材

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查看4868 | 回复1 | 2023-7-14 09:03 | 显示全部楼层 |阅读模式
本标准规定了钪铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则与标志、包装、运输、贮存及质量证明书。本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。

标准编号:XB/T 515-2020
中文名称:钪铝合金靶材
发布日期:2020-12-09
实施日期:2021-04-01
全文页数:7


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XB_T 515-2020 钪铝合金靶材.pdf (452.64 KB)

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