GB_T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅.pdf

本文件规定了硅外延用三氯氢硅（SiHCL₃）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。本文件适用于以三氧氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。

标准编号：GB/T 30652-2023
中文名称：硅外延用三氯氢硅
英文名称：Trichlorosilane for silicon epitaxial
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
代替标准：GB/T 30652-2014
引用标准：GB 190;GB/T 191;GB/T 1551;GB/T 3723;GB 12463;GB/T 14264;GB 15258;GB/T 16483;GB/T 24581;GB/T 26571;GB/T 28654;GB/T 29056;GB/T 29057;GB 30000.19;YS/T 987;YS/T 1059;YS/T 1060
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC 203/SC 2）
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