标准号：SJ/T 11516-2015
实施状态：现行
中文名称：薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范
英文名称：Specification for thin film transistor (TFT) mask
组织分类：SJ
中标分类：L90
ICS分类：31.030
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
作废日期： - -
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：深圳清溢光电股份有限公司
范围：本标准规定了薄膜晶体管(TFT)用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。
文件格式：PDF
文件大小：1.71MB
文件页数：12
（以上信息更新时间为：2019-03-31）
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SJ_T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范.pdf