标准号:SJ/T 11516-2015
实施状态:现行
中文名称:薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范
英文名称:Specification for thin film transistor (TFT) mask
组织分类:SJ
中标分类:L90
ICS分类:31.030
标准分类:QT
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
作废日期: - -
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:深圳清溢光电股份有限公司
范围:本标准规定了薄膜晶体管(TFT)用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。
文件格式:PDF
文件大小:1.71MB
文件页数:12
(以上信息更新时间为:2019-03-31)
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