YS_T 28-2015 硅片包装.pdf

标准号：YS/T 28-2015
实施状态：现行
中文名称：硅片包装
英文名称：Package of silicon wafers
组织分类：YS
中标分类：H80
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
作废日期：    -  -
代替标准：YS/T 28-1992
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：杭州海纳半导体有限公司
范围：本标准规定了硅片的包装。本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片包装和太阳能电池用硅片包装,使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
文件格式：PDF
文件大小：532.26KB
文件页数：8
（以上信息更新时间为：2019-03-31）

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