[有色冶金] YS/T 28-2015 硅片包装

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查看1984 | 回复5 | 2015-5-2 02:51 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:YS/T 28-2015
实施状态:现行
中文名称:硅片包装
英文名称:Package of silicon wafers
组织分类:YS
中标分类:H80
ICS分类:29.045
标准分类:QT
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
作废日期:    -  -
代替标准:YS/T 28-1992
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:杭州海纳半导体有限公司
范围:本标准规定了硅片的包装。本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片包装和太阳能电池用硅片包装,使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
文件格式:PDF
文件大小:532.26KB
文件页数:8
(以上信息更新时间为:2019-03-31)

标准全文下载:
YS_T 28-2015 硅片包装.pdf (532.26 KB)

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