JB_T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵.pdf

标准号：JB/T 4081-2011
实施状态：现行
中文名称：真空技术 溅射离子泵
英文名称：Vacuum technology. Sputter-ion pumps
组织分类：JB
中标分类：J78
ICS分类：23.160
标准分类：QT
发布日期：2011-12-20
实施日期：2012-04-01
代替标准：JB/T 4082-1991;JB/T 4081-1991
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司
范围：本标准规定了普通型式的溅射离子泵(以下简称离子泵)的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
文件格式：PDF
文件大小：396.14KB
文件页数：14
（以上信息更新时间为：2019-04-09）

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