JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵

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查看3414 | 回复3 | 2011-12-23 08:10 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:JB/T 4081-2011
实施状态:现行
中文名称:真空技术 溅射离子泵
英文名称:Vacuum technology. Sputter-ion pumps
组织分类:JB
中标分类:J78
ICS分类:23.160
标准分类:QT
发布日期:2011-12-20
实施日期:2012-04-01
代替标准:JB/T 4082-1991;JB/T 4081-1991
归口单位:全国真空技术标准化技术委员会
起草单位:北京中科科仪技术发展有限责任公司
范围:本标准规定了普通型式的溅射离子泵(以下简称离子泵)的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
文件格式:PDF
文件大小:396.14KB
文件页数:14
(以上信息更新时间为:2019-04-09)

标准全文下载:
JB_T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵.pdf (396.14 KB)

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