JC_T 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件.pdf

标准号：JC/T 181-2011
实施状态：已作废
中文名称：半导体用透明石英玻璃器件
英文名称：Transparent quartz glass devices for semiconductor
组织分类：JC
中标分类：Q35
ICS分类：81.040.30
标准分类：QT
发布日期：2011-12-20
实施日期：2012-07-01
作废日期：2017-05-12
代替标准：JC/T 181-1981(1996)
归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
起草单位：中国建筑材料检验认证中心
范围：本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件,包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准执行。
文件格式：PDF
文件大小：146.35KB
文件页数：6
（以上信息更新时间为：2019-04-09）

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