JC/T 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件

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查看3085 | 回复5 | 2011-12-17 01:54 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:JC/T 181-2011
实施状态:已作废
中文名称:半导体用透明石英玻璃器件
英文名称:Transparent quartz glass devices for semiconductor
组织分类:JC
中标分类:Q35
ICS分类:81.040.30
标准分类:QT
发布日期:2011-12-20
实施日期:2012-07-01
作废日期:2017-05-12
代替标准:JC/T 181-1981(1996)
归口单位:全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
起草单位:中国建筑材料检验认证中心
范围:本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件,包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准执行。
文件格式:PDF
文件大小:146.35KB
文件页数:6
(以上信息更新时间为:2019-04-09)

标准全文下载:
JC_T 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件.pdf (146.35 KB)

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