YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

显示全部楼层 · 2014-10-16 07:01

标准号：YS/T 983-2014
实施状态：现行
中文名称：多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
英文名称：Test method for measuring composition of polysilicon
deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
组织分类：YS
中标分类：H17
ICS分类：77.040
标准分类：QT
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
作废日期： - -
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：四川新光硅业科技有限责任公司
范围：本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的侧定。检测范围为体积分数0.1%～100%。
文件格式：PDF
文件大小：279.84KB
文件页数：7
（以上信息更新时间为：2019-04-02）

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YS_T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法.pdf (279.84 KB)

[有色冶金] YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

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