YS/T 985-2014 硅抛光回收片

显示全部楼层 · 2014-10-10 20:37

标准号：YS/T 985-2014
实施状态：现行
中文名称：硅抛光回收片
英文名称：Polished reclaimed silicon wafers
组织分类：YS
中标分类：H80
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
作废日期： - -
采用标准：SEMI M38-0307,MOD
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司
范围：本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片(主要包括100 mm、125 mm、150 mm和200 mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片)经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外,使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。
文件格式：PDF
文件大小：727.65KB
文件页数：13
（以上信息更新时间为：2019-04-02）

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[有色冶金] YS/T 985-2014 硅抛光回收片

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