标准号：YS/T 986-2014
实施状态：现行
中文名称：晶片正面系列字母数字标志规范
英文名称：Specification for serial alphanumeric marking of the front surface of wafers
组织分类：YS
中标分类：H80
ICS分类：29.045
标准分类：QT
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
作废日期： - -
采用标准：SEMI M12-0706,IDT
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：有研半导体材料股份有限公司
范围：本标准定义了标记包括字母数字的几何尺寸和空间位置,尤其适用于带参考面和带缺口的硅抛光片。本标准不涉及制作标记的技术。
文件格式：PDF
文件大小：590.95KB
文件页数：12
（以上信息更新时间为：2019-04-02）
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YS_T 986-2014 晶片正面系列字母数字标志规范.pdf
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