标准号：YS/T 987-2014
实施状态：现行
中文名称：氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定
英文名称：Test method for measuring carbon containing compound in chlorosilane. Determination of methyldichlorosilane
组织分类：YS
中标分类：H17
ICS分类：77.040.30
标准分类：QT
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
作废日期： - -
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：四川新光硅业科技有限责任公司
范围：本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法,主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.000 01%～1.00%。
文件格式：PDF
文件大小：470.36KB
文件页数：9
（以上信息更新时间为：2019-04-02）
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