标准号：JC/T 2243-2014
实施状态：现行
中文名称：等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
英文名称：Quartz tube covered in a film for PECVD
组织分类：JC
中标分类：Q35
ICS分类：81.040.30
标准分类：QT
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
作废日期： - -
归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
起草单位：上海强华石英有限公司
范围：本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管(以下简称PE石英管)。
文件格式：PDF
文件大小：292.74KB
文件页数：7
（以上信息更新时间为：2019-04-02）
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JC_T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管.pdf
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