标准号：GB/T 30866-2014
实施状态：现行
中文名称：碳化硅单晶片直径测试方法
英文名称：Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
组织分类：GB
中标分类：H83
ICS分类：29.045
标准分类：CN
发布日期：2014-07-24
实施日期：2015-02-01
作废日期： - -
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备及材料分技术委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
范围：本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。
文件格式：PDF
文件大小：91.97KB
文件页数：5
（以上信息更新时间为：2019-04-03）
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