标准号：GB/T 29852-2013
实施状态：现行
中文名称：光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
英文名称：Test method for measuring phosphorus,arsenic and antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
组织分类：GB
中标分类：H82
ICS分类：29.045
标准分类：CN
发布日期：2013-11-12
实施日期：2014-04-15
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心
范围：本标准规定了用二次离子质谱仪(SIMS)测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法,本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析,其中磷、砷和锑的浓度均大于1×10(14)atoms/cm3。
文件格式：PDF
文件大小：213.72KB
文件页数：7
（以上信息更新时间为：2019-04-05）
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GB_T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法.pdf
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