[有色冶金] YS/T 937-2013 镍铂靶材

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查看1960 | 回复2 | 2013-10-13 04:04 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准号:YS/T 937-2013
实施状态:现行
中文名称:镍铂靶材
英文名称:Nickel-platinum target
组织分类:YS
中标分类:H68
ICS分类:77.150.99
标准分类:QT
发布日期:2013-10-17
实施日期:2014-03-01
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:有研亿金新材料股份有限公司
范围:本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
文件格式:PDF
文件大小:616.62KB
文件页数:21
(以上信息更新时间为:2019-04-05)

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YS_T 937-2013 镍铂靶材.pdf (616.62 KB)

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