标准号：HG/T 4509-2013
实施状态：现行
中文名称：工业高纯氢氟酸
英文名称：High purity hydrofluoric acid for industrial
use
组织分类：HG
中标分类：G11
ICS分类：71.060.30
标准分类：QT
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
归口单位：全国化学标准化技术委员会无机化工分会
起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司
范围：本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级,要求,试验方法,检验规则,标志、标签、包装、运输和贮存及安全。本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻,以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
文件格式：PDF
文件大小：468.92KB
文件页数：12
（以上信息更新时间为：2019-04-05）
标准全文下载：
HG_T 4509-2013 工业高纯氢氟酸.pdf
(468.92 KB)
|
|
