标准号：GB/T 29557-2013
实施状态：现行
中文名称：表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
英文名称：Surface chemical analysis. Depth Profiling. Measurment of sputtered depth
组织分类：GB
中标分类：G04
ICS分类：71.040.40
标准分类：CN
发布日期：2013-07-19
实施日期：2014-03-01
采用标准：ISO/TR 15969-2001.IDT
归口单位：全国微束标准化技术委员会
起草单位：中山大学
范围：本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。
文件格式：PDF
文件大小：630.41KB
文件页数：16
（以上信息更新时间为：2019-04-05）
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