GB/T 29504-2013 300mm硅单晶

显示全部楼层 · 2013-5-11 13:12

标准号：GB/T 29504-2013
实施状态：现行
中文名称：300mm硅单晶
英文名称：300 mm monocrystalline silicon
组织分类：GB
中标分类：H82
ICS分类：29.045
标准分类：CN
发布日期：2013-05-09
实施日期：2014-02-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：有研半导体材料股份有限公司
范围：本标准规定了直径300mm、p型、(100)晶向、电阻率0.5Ω·cm～20Ω·cmm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。
文件格式：PDF
文件大小：173.63KB
文件页数：7
（以上信息更新时间为：2019-04-06）

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[国家标准] GB/T 29504-2013 300mm硅单晶

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