标准号：YS/T 837-2012
实施状态：现行
中文名称：溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
英文名称：Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
组织分类：YS
中标分类：H68
ICS分类：77.120.99
标准分类：QT
发布日期：2012-11-07
实施日期：2013-03-01
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司
范围：本标准规定溅射用靶材-背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等,该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。本标准适用于中间层材料结合方式(如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等)的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
文件格式：PDF
文件大小：242.36KB
文件页数：10
（以上信息更新时间为：2019-04-07）
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